基于卷积神经网络的外延层生长状态判断方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN202110461440.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113255729A | 公开（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申请公布号 | CN113255729A | 申请公布日 | 2021-08-13 |
| 分类号 | G06K9/62（2006.01）I;G06N3/04（2006.01）I;G06N3/08（2006.01）I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 倪健;许翔;薛聪 | 申请（专利权）人 | 埃特曼（北京）半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 杨明莉 |
| 地址 | 101300北京市顺义区中关村科技园区顺义园临空二路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于卷积神经网络的外延层生长状态判断方法及装置，所述判断方法包括：获取外延层不同生长状态下的实时二维图像；基于所述二维图像获取训练样本对预先建立的初始卷积神经网络模型进行训练，以获取卷积神经网络模型；根据所述卷积神经网络模型获取所述二维图像对应的输出概率向量，以根据所述概率向量判断所述外延层的生长状态，使用卷积神经网络模型代替人工，对分子束外延生长过程的二维图像进行定量和定性的分析，快速准确地判断外延层生长状态，提高外延层生长状态的效率和精准度，实现真正意义上的实时分析。 |
