一种晶圆光刻设备
基本信息
| 申请号 | CN202010615581.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111722478A | 公开（公告）日 | 2020-09-29 |
| 申请公布号 | CN111722478A | 申请公布日 | 2020-09-29 |
| 分类号 | G03F7/30(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王涛 | 申请（专利权）人 | 广州聪慧青贸易有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 510030广东省广州市越秀区广园西路222号1260房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆光刻设备，其结构包括主体、控制面板、进料口、光刻块、显影装置，进料口设置在主体的左侧，显影装置包括光蚀剂回收箱、晶圆收集箱、传送带、载盘、滑动杆、喷料装置，喷料装置包括横向滑动块、限位块、旋转块、螺纹杆、通料管、出料装置，出料装置包括通料槽、喷料头、凹槽、动力喷头、刷渣装置，刷渣装置包括挡料装置、转杆、刷子，挡料装置设置在刷渣装置的侧端，本发明利用动力喷头垂直喷出光蚀剂，对安装在凹槽正中间的刷渣装置进行冲击，使得挡料装置受到冲击力进行旋转，从而让嵌固在转杆上的刷子通过旋转对晶圆表面的残渣进行刷洗，避免由反应过后的残渣附在晶圆的表面，影响后反应的晶圆光刻位置显影。 |
