一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉

基本信息

申请号 CN200810175871.1 申请日 -
公开(公告)号 CN101403136A 公开(公告)日 2009-04-08
申请公布号 CN101403136A 申请公布日 2009-04-08
分类号 C30B15/02(2006.01)I;F27B17/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 王飞;赖汝萍 申请(专利权)人 神硅新能源有限公司
代理机构 北京捷诚信通专利事务所 代理人 魏殿绅;庞炳良
地址 325800浙江省苍南县灵溪镇商场二街52号
法律状态 -

摘要

摘要 一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉,涉及硅单晶炉配套设备,包括料筒(7),料筒(7)设有上端外表面向内延伸的凸台(8),料筒(7)的底边内翻并卡设一硅片(6),压杆外套筒(4)两端通过上下扁钢片(9、10)固设在料筒(7)内,压杆外套筒(4)内设有可在压杆外套筒(4)内上下移动的压杆(5),压杆(5)的上端设有压杆滑轮(3),通过销轴(11)设置在上扁钢片(9)上的操纵连杆(2)的一端和压杆滑轮(3)的外表面抵接,另一端和操纵机构滑轮(1)连接。本发明结构简单,能够在不开炉的条件下,连续向石英坩埚内投料,使得硅单晶炉产量和成品率增高,降低能耗和成本。