一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉
基本信息
申请号 | CN200810175871.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN101403136A | 公开(公告)日 | 2009-04-08 |
申请公布号 | CN101403136A | 申请公布日 | 2009-04-08 |
分类号 | C30B15/02(2006.01)I;F27B17/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 王飞;赖汝萍 | 申请(专利权)人 | 神硅新能源有限公司 |
代理机构 | 北京捷诚信通专利事务所 | 代理人 | 魏殿绅;庞炳良 |
地址 | 325800浙江省苍南县灵溪镇商场二街52号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉,涉及硅单晶炉配套设备,包括料筒(7),料筒(7)设有上端外表面向内延伸的凸台(8),料筒(7)的底边内翻并卡设一硅片(6),压杆外套筒(4)两端通过上下扁钢片(9、10)固设在料筒(7)内,压杆外套筒(4)内设有可在压杆外套筒(4)内上下移动的压杆(5),压杆(5)的上端设有压杆滑轮(3),通过销轴(11)设置在上扁钢片(9)上的操纵连杆(2)的一端和压杆滑轮(3)的外表面抵接,另一端和操纵机构滑轮(1)连接。本发明结构简单,能够在不开炉的条件下,连续向石英坩埚内投料,使得硅单晶炉产量和成品率增高,降低能耗和成本。 |
