一种等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置及方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置及方法

基本信息

申请号	CN201110046681.1	申请日	-
公开（公告）号	CN102102226B	公开（公告）日	2012-09-12
申请公布号	CN102102226B	申请公布日	2012-09-12
分类号	C30B33/06(2006.01)I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	王飞;宋志安;赖汝萍	申请（专利权）人	神硅新能源有限公司
代理机构	北京捷诚信通专利事务所（普通合伙）	代理人	董琪
地址	325000 浙江省苍南县灵溪镇工业园区二期环城北路以南温州神硅电子有限公司
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置及方法，包括拼接机构及配套的吸拿工具，通过承载对中桶上的定位螺丝固定等径短圆晶棒或等边方锭，并通过同心度确定装置确保上下叠置的四个等径短圆晶棒或等边方锭的同心度，把四个等径短圆晶棒的四个结晶对称棱线由下至上对齐，或把四个等边方锭的四角由下至上对齐，在等径短圆晶棒或等边方锭的外表面上划一直线作为二次对接线，用吸拿工具将上面的第二～第四个等径短圆晶棒或等边方锭依次提出，抹上粘接剂后按二次对接线重新对齐、固定，完成拼接。本发明所述的拼接装置及方法，拼接时间短，拼接好的等长晶圆棒或等长方晶锭的同心度好，四个结晶对称棱线或方锭四角容易对齐，易于标准化和规模化生产。