一种水解法处理四氯化硅的方法和系统
基本信息
申请号 | CN201110307904.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN103043610B | 公开(公告)日 | 2015-06-17 |
申请公布号 | CN103043610B | 申请公布日 | 2015-06-17 |
分类号 | C01B7/03(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
发明人 | 张吉瑞 | 申请(专利权)人 | 北京华宇同方化工科技开发有限公司 |
代理机构 | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 | 代理人 | 北京华宇同方化工科技开发有限公司 |
地址 | 100089 北京市海淀区紫竹院路88号紫竹花园B-604 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种处理多晶硅生产的副产物四氯化硅的方法和系统,通过将四氯化硅水解转化为无水氯化氢气体,同时生成白炭黑,从而将毒害物质四氯化硅转化为高价值的产品。其中无水氯化氢气体可以用于制备多晶硅生产的原料三氯氢硅,从而实现了多晶硅生产中氯元素的循环利用,达到资源节约和环境友好的目的。 |
