一种水解法处理四氯化硅的方法和系统

基本信息

申请号 CN201110307904.5 申请日 -
公开(公告)号 CN103043610A 公开(公告)日 2013-04-17
申请公布号 CN103043610A 申请公布日 2013-04-17
分类号 C01B7/03(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 张吉瑞 申请(专利权)人 北京华宇同方化工科技开发有限公司
代理机构 北京邦信阳专利商标代理有限公司 代理人 北京华宇同方化工科技开发有限公司
地址 100089 北京市海淀区紫竹院路88号紫竹花园B-604
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种处理多晶硅生产的副产物四氯化硅的方法和系统,通过将四氯化硅水解转化为无水氯化氢气体,同时生成白炭黑,从而将毒害物质四氯化硅转化为高价值的产品。其中无水氯化氢气体可以用于制备多晶硅生产的原料三氯氢硅,从而实现了多晶硅生产中氯元素的循环利用,达到资源节约和环境友好的目的。