一种制作电热式MEMS驱动臂的方法及电热式MEMS驱动臂专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种制作电热式MEMS驱动臂的方法及电热式MEMS驱动臂

基本信息

申请号	CN201911408258.4	申请日	-
公开（公告）号	CN113120848A	公开（公告）日	2021-07-16
申请公布号	CN113120848A	申请公布日	2021-07-16
分类号	B81B3/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I	分类	微观结构技术〔7〕;
发明人	王鹏;黄兆兴;谢会开	申请（专利权）人	无锡微奥科技有限公司
代理机构	无锡市朗高知识产权代理有限公司	代理人	赵华
地址	214000江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C栋辅楼302室
法律状态	-

摘要

一种制作电热式MEMS驱动臂的方法，包括如下步骤：1）、选择高阻硅作为衬底；2）、在衬底上进行图形化，形成预先设计的导电回路图形的掩模；3）、使用注入法或扩散法对衬底进行掺杂，形成导电回路，该导电回路作为加热电阻层；4）、在加热电阻层上制作绝缘材料作为绝缘层；5）、在绝缘层上制作高热膨胀系数的材料作为第一结构层；6）、刻蚀衬底的底部，留下设定厚度的高阻硅作为第二结构层；7）、在衬底的上部按照预先设计的MEMS驱动臂形状进行正面图形化刻蚀；最终完成该电热式MEMS驱动臂的制作。优点：硅既作为结构层的同时，由作为加热电阻层，免除了还要做加热电阻层的麻烦，简化了电热式MEMS驱动臂的加热电阻层的工艺步骤，提供了效率。