MEMS微动平台的检测装置及检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202111167838.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113998662A | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN113998662A | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | B81B7/02（2006.01）I;B81C99/00（2010.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 齐强先;王鹏;谢会开 | 申请（专利权）人 | 无锡微奥科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京博雅睿泉专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 周礼涛 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园B2-305室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种MEMS微动平台的检测装置及检测方法，检测装置包括：振动源，所述振动源用于产生包含MEMS微动平台谐振频率的振动，所述振动源能够使一个或多个所述MEMS微动平台同时振动；观测装置，所述观测装置用于观察所述MEMS微动平台的振动状态。本申请的检测装置，通过对MEMS微动平台自身频率响应的检测，能够一次性检测振动源上的所有MEMS微动平台的结构良率，有效提高MEMS微动平台的检测效率和检测准确率。同时该MEMS微动平台的检测装置，成本较低，且不会在MEMS微动平台上留下扎针痕迹，破坏MEMS微动平台的结构。 |
