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MEMS扫描振镜振动参数的测量系统和测量方法

基本信息

申请号 CN202111150366.3 申请日 -
公开（公告）号 CN113932908A 公开（公告）日 2022-01-14
申请公布号 CN113932908A 申请公布日 2022-01-14
分类号 G01H9/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 谢会开;王鹏 申请（专利权）人 无锡微奥科技有限公司
代理机构 北京成创同维知识产权代理有限公司 代理人 刘静;李秀霞
地址 100081北京市海淀区中关村南大街5号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种MEMS扫描振镜振动参数的测量系统和测量方法，该测量系统包括：准直光源，用于向MEMS扫描振镜的背面以相同方向入射准直光，预设翻转角度的MEMS扫描振镜平行于准直光入射方向且与准直光源有恒定间距；借助光栅结构构成的多个不同反光区，多个反光区分布在MEMS扫描振镜的背面，不同的反光区各自在MEMS扫描振镜的一个翻转角度上接收准直光的照射并向固定位置出射回波；光电探测器，用于在固定位置接收回波并转换回波为电信号；信号处理器，连接光电探测器，用于基于电信号确定振动参数。本申请简化了振动参数测量系统的结构。