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MEMS微镜、电子设备及MEMS微镜的使用方法

基本信息

申请号 CN202111157004.7 申请日 -
公开（公告）号 CN114047625A 公开（公告）日 2022-02-15
申请公布号 CN114047625A 申请公布日 2022-02-15
分类号 G02B26/08（2006.01）I 分类 光学;
发明人 谢会开;王鹏 申请（专利权）人 无锡微奥科技有限公司
代理机构 北京博雅睿泉专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 杨璐
地址 100081北京市海淀区中关村南大街5号
法律状态 -

摘要

摘要 本公开实施例提供了一种MEMS微镜、电子设备及MEMS微镜的使用方法；其中，MEMS微镜包括基底，镜面，静电吸合装置及驱动装置；镜面悬置于基底上；静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，第一静电电极位于基底上，第二静电电极位于镜面上；驱动装置的一端与基底连接，驱动装置的另一端与镜面连接，驱动装置能够发生弯曲，驱动装置被构造为能够带动镜面相对于基底发生运动；在驱动装置弯曲的状态下，镜面能够朝向第一静电电极运动，并能够通过第二静电电极静电吸合在第一静电电极上。本公开实施例为MEMS微镜提供了一种抗冲击振动的方案，其镜面在不使用的情况下可以通过静电吸合在基底上。