一种光学检测仪器及其检测方法和偏心调校方法

基本信息

申请号 CN201910645802.0 申请日 -
公开(公告)号 CN110514407B 公开(公告)日 2021-08-24
申请公布号 CN110514407B 申请公布日 2021-08-24
分类号 G01M11/02 分类 测量;测试;
发明人 邱家铖;陈凯;谈顺毅;邱忠杰 申请(专利权)人 上海慧希电子科技有限公司
代理机构 上海段和段律师事务所 代理人 李佳俊
地址 334000 江西省上饶市上饶经济技术开发区龙门路
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种光学检测仪器,包括控制系统、输出系统、接收系统,输出系统包括光源和空间光调制器,其中光源发出的光线传输至空间光调制器,控制系统控制的空间光调制器后在光路中生成一个或多个图像;输出系统所成的图像经过被测样品透射和/或反射后变为反馈信息,反馈信息被接收系统接收;控制系统比较反馈信息与输出像的区别分析计算出被测样品信息。本发明利用空间光调制器的特性生成和/或改变全息图以满足检测需求,只需改变全息图就可实现移动镜头的效果,可用于测量透镜偏心、厚度、折射率等参数,使检测设备可以实现固态化,有利于缩短更换样本重新定位的时间,也可用于在流水线上快速自动化批量加工检测光学元器件。