一种微结构的制备方法
基本信息
申请号 | CN201810424106.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN108640081B | 公开(公告)日 | 2019-11-12 |
申请公布号 | CN108640081B | 申请公布日 | 2019-11-12 |
分类号 | B81C1/00(2006.01)I; B81C3/00(2006.01)I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
发明人 | 张军 | 申请(专利权)人 | 东台海滨科技创业园管理有限公司 |
代理机构 | 苏州创策知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周锦全 |
地址 | 321000 浙江省金华市武义县履坦镇蒋村村金鸡路12号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种微结构的制备方法,通过使用富氢材料形成的图形结构作为形成器件结构的模,并通过微波或激光加热,使得聚二甲基硅氧烷形成的微结构脱模变得容易,形成的微结构完整,并且通过表面改性达到较高的表面质量。 |
