一种微结构的制备方法

基本信息

申请号 CN201810424106.2 申请日 -
公开(公告)号 CN108640081B 公开(公告)日 2019-11-12
申请公布号 CN108640081B 申请公布日 2019-11-12
分类号 B81C1/00(2006.01)I; B81C3/00(2006.01)I 分类 微观结构技术〔7〕;
发明人 张军 申请(专利权)人 东台海滨科技创业园管理有限公司
代理机构 苏州创策知识产权代理有限公司 代理人 周锦全
地址 321000 浙江省金华市武义县履坦镇蒋村村金鸡路12号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种微结构的制备方法,通过使用富氢材料形成的图形结构作为形成器件结构的模,并通过微波或激光加热,使得聚二甲基硅氧烷形成的微结构脱模变得容易,形成的微结构完整,并且通过表面改性达到较高的表面质量。