一种晶圆加热器
基本信息
| 申请号 | CN202020089126.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211378286U | 公开（公告）日 | 2020-08-28 |
| 申请公布号 | CN211378286U | 申请公布日 | 2020-08-28 |
| 分类号 | H05B3/26(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 顾幼范;谢龙;冯永平;宋海伦;薛新军 | 申请（专利权）人 | 无锡新辉龙科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 无锡新辉龙科技有限公司 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市无锡惠山经济开发区清研路12号华清创新园11-501-1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆加热器，其包括承载盘、支撑柱和云母加热片，承载盘设于支撑柱的一端，由支撑柱竖立支撑，承载盘的上表面盛放待加热的晶圆，承载盘的内部中空形成盘面状的容腔，云母加热片设置于容腔中，为承载盘的上表面均匀供热，支撑柱中空，云母加热片的电源线自支撑柱中引出。上述晶圆加热器采用圆盘状的云母加热片为工作盘面提供持续、均匀的高温，配合铝制承载盘和支撑柱提供工作平台，增加受热面积，提高受热均匀性，同时解决电源线走线问题，确保其与发热面隔离，外形简洁。 |
