蒸镀装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN201610830421.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106567043B | 公开（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申请公布号 | CN106567043B | 申请公布日 | 2021-05-07 |
| 分类号 | H01L51/56(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C14/26(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 孙亮 | 申请（专利权）人 | 湖畔光电科技（江苏）有限公司 |
| 代理机构 | 北京律远专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 丁清鹏 |
| 地址 | 213200江苏省常州市金坛区华城中路168号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种蒸镀装置，包括：蒸镀源、蒸镀材料与显示器背板，蒸镀源用于加热蒸镀材料；蒸镀材料设置在蒸镀源的内部；显示器背板为蒸镀材料最终蒸镀到的位置，显示器背板与蒸镀源之间的距离定义为TS距离；其中，蒸镀源的顶部设置有上盖板，上盖板上设置有多个导流气孔，导流气孔用于引导被蒸镀的蒸镀材料运动至显示器背板；多个导流气孔包括：一中心直孔与围绕中心直孔的多圈斜孔，在上盖板上方每圈斜孔均以纵向方向为中心向上盖板方向呈锐角倾斜。本发明还公开了与该蒸镀装置相对应的蒸镀方法。本发明具有材料使用率高、成膜均匀性好且生产成本低的有益效果。 |
