一种含稀土金属的铜镍合金靶材、其制备方法及应用
基本信息
| 申请号 | CN202111515731.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114196925A | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN114196925A | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I;C22C9/06（2006.01）I;B22F10/50（2021.01）I;B22F10/10（2021.01）I;B33Y10/00（2015.01）I;B33Y70/00（2020.01）I;B33Y80/00（2015.01）I;B23K20/12（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 谢迎春;马文花;孙文;赵仕杰;邓畅光;殷硕;黄仁忠 | 申请（专利权）人 | 广东省科学院工业分析检测中心 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 宋南 |
| 地址 | 510650广东省广州市天河区长兴路363号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种含稀土金属的铜镍合金靶材、其制备方法及应用，涉及合金靶材技术领域。该制备方法包括：包括：采用逐层沉积的方式，每层沉积的过程中均包括同时进行的固态金属沉积和搅拌摩擦焊；其中，固态金属沉积是将合金粉末沉积于背板或上一层沉积体上，搅拌摩擦焊是在固态金属沉积得到的沉积体上进行搅拌；其中，按重量百分比计，合金粉末包括以下组分：RE 0.002‑0.05％、Ni 3‑10％，余量为Cu及不可避免的杂质。能够有效提高材料的利用率；材料不发生氧化、分解，可使靶材完整保留原材料组分；靶材致密、晶粒小、组织均匀、气体含量低、焊接处界面的结合率高，能够显著提高靶材的性能。 |
