镀膜装置及镀膜方法
基本信息
| 申请号 | CN201010160939.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102234767B | 公开（公告）日 | 2014-04-30 |
| 申请公布号 | CN102234767B | 申请公布日 | 2014-04-30 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王仲培 | 申请（专利权）人 | 东莞市华欧泰电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种镀膜装置，其包括过渡腔体、镀膜腔体、阀门、多个料杆、第一料架、第二料架以及料杆转移装置。所述料杆转移装置设置于过渡腔体内。所述阀门连接于所述过渡腔体和镀膜腔体之间，用于在开启时连通过渡腔体和镀膜腔体，并用于在关闭时隔离过渡腔体和镀膜腔体。所述第一料架和第二料架均用于设置所述多个料杆。所述料杆转移装置包括驱动机构、夹爪及挡板。所述夹爪用于将所述多个料杆自所述第一料架一一转移至第二料架，或者用于将所述多个料杆自所述第二料架一一转移至第一料架。所述挡板设置于所述驱动机构，并靠近所述夹爪，所述挡板用于将转移过程中从料杆上脱落的工件从所述阀门处移除。本技术方案还提供一种镀膜方法。 |
