干式真空泵
基本信息
| 申请号 | CN202110920587.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113417852A | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN113417852A | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | F04C25/02（2006.01）I;F04C23/00（2006.01）I;F04C28/00（2006.01）I;F04C29/00（2006.01）I;F04C29/12（2006.01）I | 分类 | 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵; |
| 发明人 | 周贤忠;沈文武 | 申请（专利权）人 | 四川莱斯特真空科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 杨勋 |
| 地址 | 610000四川省成都市天府新区新兴街道天工大道916号天科创造产业基地A2-1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明的实施例提供了一种干式真空泵，涉及光伏半导体加工设备技术领域。干式真空泵包括壳体和两个一体式转子，壳体的内部开设有容置空腔，两个一体式转子转动安装在容置空腔内，两个一体式转子相互啮合，两个一体式转子用于同步反向转动，以排出容置空腔内的气体。干式真空泵的零件数量较少，减少加工难度，降低生产成本和装配难度，提升设备的性能和使用寿命。 |
