连续掩膜挡板传动装置
基本信息
| 申请号 | CN201511033444.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105525257B | 公开（公告）日 | 2018-04-27 |
| 申请公布号 | CN105525257B | 申请公布日 | 2018-04-27 |
| 分类号 | C23C14/04;C23C16/04;C23C14/54;C23C16/52 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 郭祖华;葛怀庆;练菊;朱向炜 | 申请（专利权）人 | 蚌埠雷诺真空技术有限公司 |
| 代理机构 | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 张建宏;和聚龙 |
| 地址 | 233010 安徽省蚌埠市东海大道6318号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明给出了一种连续掩膜挡板传动装置,包括电机、掩膜挡板、安装支架、传动组件和底座，安装支架内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口，镀膜槽口内侧壁上开有至少一条滑槽，掩膜挡板在所述滑槽内移动，底座放置在镀膜槽口下侧；传动组件至少包括传动丝杆，传动丝杆包括螺杆和螺母，螺杆支撑在安装支架上，螺杆的放置走向与滑槽的走向一致，螺母固定在掩膜挡板上；电机带动传动组件的螺杆转动。初始状态下掩膜挡板完全遮挡待镀膜的工件，电机驱动传动组件带动掩膜挡板移动，使工件逐步暴露在掩膜挡板外，配合外部镀膜设备对工件持续镀膜，进而达到渐进式镀膜的目的，满足对工件镀膜厚度的变化要求。 |
