真空机械手传动装置
基本信息
| 申请号 | CN201511033442.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105441898A | 公开（公告）日 | 2016-03-30 |
| 申请公布号 | CN105441898A | 申请公布日 | 2016-03-30 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 房如枫;郭祖华;刘海;葛怀庆;孙嵩泉 | 申请（专利权）人 | 蚌埠雷诺真空技术有限公司 |
| 代理机构 | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 王琪;王玲霞 |
| 地址 | 233010 安徽省蚌埠市东海大道6318号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种真空机械手传动装置，包括磁流体动密封、机械手臂及齿轮传动机构，通过转动马达驱动第一齿轮、第二齿轮转动，联动磁流体动密封的旋转轴，带动摆杆底座转动；通过移动马达驱动联动磁流体动密封的中心轴上端的第三齿轮转动，间接驱动滚珠丝杠旋转，来驱动机械手臂移动；实际运行过程中，通过手动或自动精确控制转动马达或移动马达，来实现机械手臂的精确定位，可以使镀膜工件和靶材在系统各个真空室之间转运，且旋转中心位于中间，旋转半径缩小一半，适用于多种镀膜机的工件传运。 |
