精确定位工件台的传动装置

基本信息

申请号 CN201511033445.0 申请日 -
公开(公告)号 CN105441901B 公开(公告)日 2018-03-20
申请公布号 CN105441901B 申请公布日 2018-03-20
分类号 C23C14/56;C23C14/24;F16H1/20 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 郭祖华;章新良;朱向炜;葛怀庆;孙嵩泉 申请(专利权)人 蚌埠雷诺真空技术有限公司
代理机构 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 代理人 王琪
地址 233010 安徽省蚌埠市东海大道6318号
法律状态 -

摘要

摘要 精确定位工件台的传动装置,它有推拉件、第一传动件、竖直的固定架、磁性密封件、第一至第二电机、第一至第三轴及水平的工件台、第一齿圈、第一齿轮、承载板;啮合的第一齿圈和第一齿轮为直齿圆柱齿轮;第一至第二电机、磁性密封件在固定架外上侧、内下侧;空心的第一轴中部、磁性密封件内外套接,第一轴上端有轴肩且接第一齿圈,第一电机电机轴伸进固定架内且接第一齿轮;推拉件在轴肩和固定架内下侧间;第一轴下部与承载板一侧相接,承载板另一侧有第三轴,第三轴上接工件台;第二轴与第一轴、第一齿圈内外套接,第二电机电机轴伸进固定架内且接第二轴上端,第一传动件设在第二轴与第三轴的下部间。本装置使工件台定位精度较高。