HVPE密封式自动镓源注入系统
基本信息
| 申请号 | CN202021897628.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213327928U | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN213327928U | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | C30B25/02（2006.01）I;C30B29/40（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 王亮;李枝旺 | 申请（专利权）人 | 镓特半导体科技（铜陵）有限公司 |
| 代理机构 | 铜陵市嘉同知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 程玉霞 |
| 地址 | 244000安徽省铜陵市经济技术开发区天门山北道3139号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了HVPE密封式自动镓源注入系统，它包括：镓舟（1）；附属镓舟（2），所述附属镓舟位于镓舟上方并通过管道与镓舟连通；控制阀（3），所述控制阀安装于附属镓舟与镓舟之间的管道上；电子天平（4）；所述电子天平安装在附属镓舟上；PLC（5），所述PLC与控制阀和电子天平信号连接；电脑（6），所述电脑与PLC信号连接。本实用新型的有益效果是利用电脑控制整个系统，实现自动化的控制，而且精确度和可靠性较高，同时也可以减少对HVPE反应腔的污染，更好地保证镓舟内镓源的品质同时提高了产品的良率，减小了不必要的生产成本。对其保养或者注入新镓源时，勿需拆下整体设备进行处理，大大减少人力物力以及保养时间，更有效地降低生产成本。 |
