首页/ 镓特半导体科技（铜陵）有限公司/ 专利详情

HVPE腔体内部测温装置

基本信息

申请号 CN202022461018.5 申请日 -
公开（公告）号 CN213148130U 公开（公告）日 2021-05-07
申请公布号 CN213148130U 申请公布日 2021-05-07
分类号 C23C16/44(2006.01)I;C30B25/02(2006.01)I;G01K1/14(2021.01)I;G05D23/00(2006.01)I 分类 -
发明人 王亮;郑小超 申请（专利权）人 镓特半导体科技（铜陵）有限公司
代理机构 铜陵市嘉同知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 吴晨亮
地址 244000安徽省铜陵市经济技术开发区天门山北道3139号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了HVPE腔体内部测温装置，它包括：HVPE腔体（6）和测温探头（4）；它还包括：门阀（7），所述门阀安装于HVPE腔体底部；操作仓（5），所述操作仓固定连通于门阀底部；升降装置，所述升降装置安装于操作仓底部用于将测温探头依次穿过操作仓和门阀送入HVPE腔体内；测温探头固定装置（3），所述测温探头固定装置固定在升降杆的顶部；测温探头（4），所述测温探头固定在测温探头固定装置上。本实用新型的有益效果是精确读取HVPE腔体内部的实际温度，精确度和可靠性较高，提高了工艺对生长环境的控制，同时提高了产品的良率。对HVPE保养及温控的追溯起到了很有利的作用，有效地降低生产成本。