HVPE排气、镓分离收集装置
基本信息
| 申请号 | CN202022168549.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213327938U | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN213327938U | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | C30B29/40;C30B25/14;C22B58/00 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李枝旺;王亮 | 申请（专利权）人 | 镓特半导体科技（铜陵）有限公司 |
| 代理机构 | 铜陵市嘉同知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴晨亮 |
| 地址 | 244000 安徽省铜陵市经济技术开发区天门山北道3139号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了HVPE排气、镓分离收集装置,它包括：反应腔（1）；分流装置（2），所述分流装置通过腔体排气管与反应腔连通；法兰（3），所述法兰与分流装置连通；第一阀门（4），所述第一阀门与分流装置连通；镓容器（5），所述镓容器与第一阀门连通；第二阀门（6），所述第二阀门与镓容器连通；排气管路（7），所述排气管路分别与第二阀门和法兰连通。本实用新型的有益效果是金属镓会通过分流装置流到镓容器内，不会流入排气管中，镓容器内流入一定量金属镓时，关闭第一阀门和第二阀门，更换镓容器即可，这样整个过程不用更换排气管。大大减少了设备保养频率，从而提高了生产效率，同时更好的回收金属镓。而且所用装置的结构简单有效。 |
