HVPE密闭式手动加镓装置
基本信息
| 申请号 | CN202022168536.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213327939U | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN213327939U | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | C30B23/02（2006.01）I;C30B29/40（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C30B29/42（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李枝旺;王亮 | 申请（专利权）人 | 镓特半导体科技（铜陵）有限公司 |
| 代理机构 | 铜陵市嘉同知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴晨亮 |
| 地址 | 244000安徽省铜陵市经济技术开发区天门山北道3139号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了HVPE密闭式手动加镓装置，它包括：镓容器（1）；镓舟（2），所述镓舟位于镓容器下方；第一手动阀门（3），所述第一手动阀门连通于镓容器底部；第二手动阀门（4），所述第二手动阀门分别与第一手动阀门和镓舟连通；第一气动阀（5），所述第一气动阀一端接入在第一手动阀门和第二手动阀门之间，另一端与外界连通。本实用新型的有益效果是利用控制系统，实现密闭人工加镓，能很好的去除加镓装置的空气和加镓过程中空气的进入。大大改善了因加镓污染腔体的环境。更好地保证反应腔反应环境同时提高了产品的良率，减小了不必要的生产成本。而且所用装置的结构简单消耗件少，更有效地降低生产成本。 |
