一种寻边设备
基本信息
| 申请号 | CN202121211035.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215299193U | 公开（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申请公布号 | CN215299193U | 申请公布日 | 2021-12-24 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 袁康;周鹏;李启仪 | 申请（专利权）人 | 江苏索尔思通信科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京市领专知识产权代理有限公司 | 代理人 | 林辉轮;张玲 |
| 地址 | 213200江苏省常州市金坛区东城街道晨风路1036号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种寻边设备，其特征在于，包括控制模块、支撑模块以及平边检测器，所述控制模块包括控制器；所述支撑模块包括机架、用于支撑并吸附晶圆的旋转台、以及用于驱动旋转台转动的电机，所述电机固定于机架，并与所述控制器相连；所述平边检测器设置于机架，并与所述控制器相连，且平边检测器与旋转台回转中心之间具有所设定的间距，使得当晶圆平边在经过平边检测器时，平边检测器从遮挡状态变为未被遮挡状态并产生感应信号；本寻边设备，结构简单、紧凑，设计合理，不仅可以自动识别晶圆的平边及平边的方位，而且可以高精度的调整晶圆的方位，达到自动预对位的目的。 |
