用于晶片研磨圆盘的支撑治具
基本信息
申请号 | CN202121043339.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216577281U | 公开(公告)日 | 2022-05-24 |
申请公布号 | CN216577281U | 申请公布日 | 2022-05-24 |
分类号 | B24B37/27(2012.01)I;B24B37/005(2012.01)I | 分类 | 磨削;抛光; |
发明人 | 蔡磊;施鹏 | 申请(专利权)人 | 江苏索尔思通信科技有限公司 |
代理机构 | 北京市领专知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
地址 | 213200江苏省常州市金坛区东城街道晨风路1036号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种用于晶片研磨圆盘的支撑治具,包括底座和上支撑座,所述上支撑座通过支撑件连接所述底座,并位于所述底座的上方,上支撑座构造有若干适配研磨圆盘安装孔的约束部,所述约束部用于可拆卸的约束研磨圆盘;本实用新型所提供的支撑治具,结构简单,使用方便,应用于检测晶片研磨厚度的工艺过程中,不仅可以有效降低钻石点安装过程中掉落的风险,而且有利于提高钻石点的安装精度,从而有效解决现有技术存在的不足。 |
