一种封装盖板及其制备方法
基本信息
申请号 | CN202010040356.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113130407A | 公开(公告)日 | 2021-07-16 |
申请公布号 | CN113130407A | 申请公布日 | 2021-07-16 |
分类号 | H01L23/06(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 刘松坡;黄卫军;刘学昌 | 申请(专利权)人 | 武汉利之达科技股份有限公司 |
代理机构 | 湖北高韬律师事务所 | 代理人 | 鄢志波 |
地址 | 430000湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号未来城龙山创新园一期C1栋703单元 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种封装盖板及其制备方法,所述封装盖板包括基片和基片表面金属层结构,所述基片表面金属层结构包括至少两层金属层;所述基片表面第一层金属层为粘附金属层,第二层金属层为铜金属层或铜合金层,所述粘附金属层在基片与第二层金属层之间,所述粘附金属层用于粘结基片与金属层或金属层与金属层,以及提供一种制备封装盖板方法。本发明提供的一种封装盖板及其制备方法,采用了图形电镀技术,同时采用了基片表面粗化工艺,能够提高基片与表面金属层间结合力,在后续封装过程中密封性能更好;基片材质可以选择玻璃、陶瓷或金属。 |
