一种封装盖板及其制备方法

基本信息

申请号 CN202010040356.3 申请日 -
公开(公告)号 CN113130407A 公开(公告)日 2021-07-16
申请公布号 CN113130407A 申请公布日 2021-07-16
分类号 H01L23/06(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 刘松坡;黄卫军;刘学昌 申请(专利权)人 武汉利之达科技股份有限公司
代理机构 湖北高韬律师事务所 代理人 鄢志波
地址 430000湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号未来城龙山创新园一期C1栋703单元
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种封装盖板及其制备方法,所述封装盖板包括基片和基片表面金属层结构,所述基片表面金属层结构包括至少两层金属层;所述基片表面第一层金属层为粘附金属层,第二层金属层为铜金属层或铜合金层,所述粘附金属层在基片与第二层金属层之间,所述粘附金属层用于粘结基片与金属层或金属层与金属层,以及提供一种制备封装盖板方法。本发明提供的一种封装盖板及其制备方法,采用了图形电镀技术,同时采用了基片表面粗化工艺,能够提高基片与表面金属层间结合力,在后续封装过程中密封性能更好;基片材质可以选择玻璃、陶瓷或金属。