一种多层陶瓷电路板制备方法
基本信息
申请号 | CN202111535261.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114501857A | 公开(公告)日 | 2022-05-13 |
申请公布号 | CN114501857A | 申请公布日 | 2022-05-13 |
分类号 | H05K3/46(2006.01)I;H05K3/18(2006.01)I;H05K3/42(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
发明人 | 刘松坡;张树强;黄卫军 | 申请(专利权)人 | 武汉利之达科技股份有限公司 |
代理机构 | 湖北高韬律师事务所 | 代理人 | - |
地址 | 430000湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号未来科技城龙山创新园一期C1栋703室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种多层陶瓷电路板制备方法,所述多层陶瓷电路板由多块电镀陶瓷基板(DPC)堆叠键合而成。首先通过图形电镀工艺制备含表面电路层和垂直互连金属柱的DPC陶瓷基板;然后在DPC陶瓷基板电路层上制备金属焊料,将多块DPC陶瓷基板堆叠对准后键合,实现DPC基板间机械稳固连接与电互连;最后在DPC基板间填充耐高温绝缘胶,固化后得到多层陶瓷电路板。本发明利用DPC陶瓷基板导热/耐热性好、图形精度高以及垂直互连等特性,通过金属键合实现DPC基板间机械连接与电互连,制备出高可靠、高精度的多层陶瓷电路板,满足功率器件小型化和集成化封装要求。 |
