一种多层陶瓷电路板制备方法

基本信息

申请号 CN202111535261.X 申请日 -
公开(公告)号 CN114501857A 公开(公告)日 2022-05-13
申请公布号 CN114501857A 申请公布日 2022-05-13
分类号 H05K3/46(2006.01)I;H05K3/18(2006.01)I;H05K3/42(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 刘松坡;张树强;黄卫军 申请(专利权)人 武汉利之达科技股份有限公司
代理机构 湖北高韬律师事务所 代理人 -
地址 430000湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号未来科技城龙山创新园一期C1栋703室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种多层陶瓷电路板制备方法,所述多层陶瓷电路板由多块电镀陶瓷基板(DPC)堆叠键合而成。首先通过图形电镀工艺制备含表面电路层和垂直互连金属柱的DPC陶瓷基板;然后在DPC陶瓷基板电路层上制备金属焊料,将多块DPC陶瓷基板堆叠对准后键合,实现DPC基板间机械稳固连接与电互连;最后在DPC基板间填充耐高温绝缘胶,固化后得到多层陶瓷电路板。本发明利用DPC陶瓷基板导热/耐热性好、图形精度高以及垂直互连等特性,通过金属键合实现DPC基板间机械连接与电互连,制备出高可靠、高精度的多层陶瓷电路板,满足功率器件小型化和集成化封装要求。