一种真空镀膜设备的冷阱装置
基本信息
| 申请号 | CN201920333393.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209652407U | 公开（公告）日 | 2019-11-19 |
| 申请公布号 | CN209652407U | 申请公布日 | 2019-11-19 |
| 分类号 | C23C14/22（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘振波; 霍锦辉; 张向阳 | 申请（专利权）人 | 深圳海容高新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000 广东省深圳市粤海街道高新区社区高新南七道20号深圳国家工程实验室大楼B903 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型为一种真空镀膜设备的冷阱装置，包括箱体，所述箱体内部左右两侧各连接有多个呈水平放置且呈相互交错放置的承载板，所述承载板上下两面及箱体上下两内侧面固定有呈可拆卸的挡板组，所述挡板组，包括固定板、设置在固定板上具有多个呈均匀间隔排列的挡板及冷却管，所述冷却管包括有数条接触段以及数条贯穿挡板的贯穿段，所述接触段贴合于各个挡板的一侧面，所述贯穿段连接于相邻两条接触段，该实用新型的挡板组可根据需要通过装卸挡板组来调整冷却路径的长度，实现对有害物质完全捕捉。 |
