一种真空镀膜机工件架高速旋转架

基本信息

申请号 CN201922486503.5 申请日 -
公开(公告)号 CN211199395U 公开(公告)日 2020-08-07
申请公布号 CN211199395U 申请公布日 2020-08-07
分类号 C23C14/50 分类 -
发明人 苏雄宇;陈宪纬;刘振波 申请(专利权)人 深圳海容高新材料科技有限公司
代理机构 荆门市森皓专利代理事务所(普通合伙) 代理人 深圳海容高新材料科技有限公司
地址 518000 广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区高新南七道20号深圳国家工程实验室大楼B903
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种真空镀膜机工件架高速旋转架,涉及真空镀膜机技术领域。该真空镀膜机工件架高速旋转架,包括定位板,所述定位板的顶部连接有连接板,所述连接板的顶部连接有轴承固定座,所述轴承固定座的表面安装有轴承,所述轴承固定座的顶部连接有轴承固定盖板,所述轴承的表面安装有限位板,所述限位板的顶部连接限位盖板。该真空镀膜机工件架高速旋转架,通过把定位板固定连接在设备上,通过把连接板固定连接在定位板上,同时把连接板通过螺栓固定在设备上,通过螺栓把轴承固定座固定连接在连接板上,使轴承板更好的进行固定,同时可以对轴承更好的进行定位,通过轴承固定座顶部的轴承固定盖板对轴承进行固定。