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一种蓝宝石炉用称重结构

基本信息

申请号 CN201320172598.3 申请日 -
公开（公告）号 CN203222630U 公开（公告）日 2013-10-02
申请公布号 CN203222630U 申请公布日 2013-10-02
分类号 C30B15/28(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 徐永亮;吴智洪;刘自强 申请（专利权）人 上海昀丰光电技术有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 魏晓波
地址 上海市浦东新区张江高科技产业东区胜利路836号7幢甲
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种蓝宝石炉用称重结构，包括底部穿设有籽晶杆顶部穿设有输入轴的籽晶腔、设置于籽晶腔的内部且中部具有通孔的称重仪固定座、设置于称重仪固定座上的至少三个称重仪，称重仪中至少包括一个量程不大于10Kg的小量程高精度称重仪、设置于称重仪顶部支撑头上的承重板组件，承重板组件包括承重板和旋转轴构件，旋转轴构件中包括支撑套和设置在支撑套中的旋转轴，旋转轴的上端与输入轴固定相连，下端与籽晶杆固定相连，承重板与支撑头接触的部位设置有与支撑头一一对应的定位槽。该称重结构可以在引晶阶段以及晶体生长的中后期阶段测量到更为准确的晶体重量数据，从而为人工引晶或者设备自动引晶提供更为精确的数据。