蓝宝石生长设备及其籽晶快速更换装置
基本信息
| 申请号 | CN201020287649.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201778147U | 公开（公告）日 | 2011-03-30 |
| 申请公布号 | CN201778147U | 申请公布日 | 2011-03-30 |
| 分类号 | C30B29/20(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 程亮 | 申请（专利权）人 | 上海昀丰光电技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 逯长明 |
| 地址 | 201201 上海市张江高科技产业东区胜利路836号7幢甲501 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种籽晶快速更换装置，用于对蓝宝石生长设备中的籽晶进行快速更换，包括：依次设置在所述蓝宝石生长设备的顶盖和波纹管之间的插板阀和隔离室，所述隔离室上设置有排气阀。本实用新型实施例提供的籽晶快速更换装置，缩短了籽晶更换的时间，同时减少了籽晶在更换过程中能源的消耗，消除了现有的籽晶更换过程中对各个部件损坏的风险。基于上述实施例提供的籽晶快速更换装置，本实用新型实施例还提供了一种具有上述籽晶快速更换装置的蓝宝石生长设备。 |
