一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具
基本信息
| 申请号 | CN202023051597.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213866405U | 公开（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申请公布号 | CN213866405U | 申请公布日 | 2021-08-03 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 周东平 | 申请（专利权）人 | 镇江晶鼎光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市方略专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李瑞清 |
| 地址 | 212000江苏省镇江市新区潘宗路38号健康食品产业园13号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，属于镀膜机夹具领域，包括转动轴、底座及顶座，所述转动轴依次穿过顶座及底座上的连接孔并与顶座及底座相连，所述底座上表面及顶座下表面上均设有一对横向的第一凹槽，一对所述第一凹槽分别设于连接孔两侧，所述底座及顶座之间通过一对侧板相连，一对所述侧板分别设于转动轴两侧，所述侧板远离转动轴侧面上设有纵向的第三凹槽。该种溅射镀膜机的双面镀膜夹具可很好地固定住陶瓷基片，可使陶瓷基片两面均能很好地进行镀膜，可有效提高溅射镀膜机对陶瓷基片的镀膜效率及镀膜质量。 |
