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一种扩晶装置

基本信息

申请号 CN202120737933.4 申请日 -
公开（公告）号 CN214313175U 公开（公告）日 2021-09-28
申请公布号 CN214313175U 申请公布日 2021-09-28
分类号 H01L21/687（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 张勇;陈树斌 申请（专利权）人 东莞触点智能装备有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 牛亭亭
地址 523000广东省东莞市松山湖园区工业北四路1号5栋312室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型实施例公开了一种扩晶装置，用于解决现有扩晶装置中的晶圆台无法进行位置调整，导致工作效率较低的技术问题。本实用新型实施例包括底座、X轴直线驱动模组、Y轴直线驱动模组、承托板以及晶圆台；所述X轴直线驱动模组安装于所述底座上，所述Y轴直线驱动模组连接于所述X轴直线驱动模组上，所述X轴直线驱动模组可驱动所述Y轴直线驱动模组沿X轴方向移动，所述承托板连接于所述Y轴直线驱动模组上，所述Y轴直线驱动模组可驱动所述承托板沿Y轴方向移动，所述晶圆台转动连接于所述承托板上，所述承托板上安装有旋转驱动模组，所述旋转驱动模组与所述晶圆台连接，所述旋转驱动模组可驱动所述晶圆台相对于所述承托板转动。