一种IPA干燥设备
基本信息
| 申请号 | CN202020370009.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212093429U | 公开（公告）日 | 2020-12-08 |
| 申请公布号 | CN212093429U | 申请公布日 | 2020-12-08 |
| 分类号 | B08B3/02(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 周杰;张琪;李俊毅;杨涛 | 申请（专利权）人 | 新毅东（上海）科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥律众知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁孝涛 |
| 地址 | 100043北京市石景山区政达路6号院4号楼12层1212 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种IPA干燥设备，具体涉及IPA干燥技术领域，所述内机体顶部还设置氮气填充装置，所述干燥机构包括固定于内机体内壁上的放置槽板、安装于放置槽板内的多个均匀设置的隔离板和连接于放置槽板中心处下方的连接管，所述放置槽板外壁与内机体内壁相吻合，所述放置槽板中部下陷设置，多个所述隔离板的底部开设有引流孔，所述连接管内部向下延伸有回收管；所述内机体外部设置有外机体，所述外机体顶端套设于内机体的顶部。本实用新型能够大幅度的提升硅片在进行IPA清洗过程之中的清洗速率和清洗效果，利用倾斜的放置槽板和引流孔，对清洗过程产生的污液可进行回收，减少清洗残留对下一轮清洗干燥造成影响。 |
