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一种光刻机的光刻板取料装置

基本信息

申请号 CN202011384582.X 申请日 -
公开（公告）号 CN112722817A 公开（公告）日 2021-04-30
申请公布号 CN112722817A 申请公布日 2021-04-30
分类号 B65G47/90 分类 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
发明人 周杰;张琪;符友银;李俊毅 申请（专利权）人 新毅东（上海）科技有限公司
代理机构 合肥律众知识产权代理有限公司 代理人 侯克邦
地址 100043 北京市石景山区政达路6号院4号楼12层1212
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种光刻机的光刻板取料装置，包括工作台，工作台底部设置有支座，支座顶部与工作台底部连接；支座两侧顶部均连接有垫台，两个垫台顶面均安装有第一滑轨，两个第一滑轨底部分别与两个垫台的顶面通过螺钉连接；第一滑轨上安装有取板装置，取板装置两侧底部分别与两个第一滑轨滑动连接；工作台远离光刻板存放处的一端设置有控制台，控制台背面与工作台通过连接线电性连接；操作人员将一定量光刻板放在桌体表面，整体夹持装置通过垫台滑轨移动，到光刻板存放点上方后，夹持架则会降下，伸缩杆收缩将光刻板夹紧，可运输至桌体表面任意位置，节省拿取更换光刻板的时间，矩形收缩夹持更加牢固，不会损坏光刻板表面，兼顾效率和质量。