一种半导体芯片生产用接触式光刻机
基本信息
| 申请号 | CN202011388275.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112558424A | 公开（公告）日 | 2021-03-26 |
| 申请公布号 | CN112558424A | 申请公布日 | 2021-03-26 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 周杰;张琪;符友银;李俊毅 | 申请（专利权）人 | 新毅东（上海）科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥律众知识产权代理有限公司 | 代理人 | 侯克邦 |
| 地址 | 100043北京市石景山区政达路6号院4号楼12层1212 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种半导体芯片生产用接触式光刻机，包括底座和固定座，固定座活动连接在底座的内部，底座内部两侧固定连接有第一固定板，第一固定板顶部固定连接有支撑板，支撑板一侧固定连接有连接板，连接板一侧固定连接有第二固定板，第二固定板一侧固定连接在底座的内壁上，支撑板之间活动连接有隔板，其中隔板底部固定连接有限位块，并且隔板底部两侧固定连接有减震板，减震板底部固定连接有气缸，气缸一端固定连接在底座的内壁上，隔板顶部固定连接有三个电动推杆。该种半导体芯片生产用接触式光刻机，解决了现有接触式光刻机无法调节高度，不便于工作人员使用的问题，同时具有良好的固定功能和减震功能。 |
