首页/ 新毅东（上海）科技有限公司/ 专利详情

一种用于光刻机的晶圆载台

基本信息

申请号 CN202011388274.4 申请日 -
公开（公告）号 CN112614805A 公开（公告）日 2021-04-06
申请公布号 CN112614805A 申请公布日 2021-04-06
分类号 H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 周杰;张琪;符友银;李俊毅 申请（专利权）人 新毅东（上海）科技有限公司
代理机构 合肥律众知识产权代理有限公司 代理人 侯克邦
地址 100043北京市石景山区政达路6号院4号楼12层1212
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于光刻机的晶圆载台，包括晶圆载台本体，晶圆载台本体的底部固定连接有承载柱，晶圆载台本体的外侧固定连接有三个支撑板，支撑板的一侧固定连接有限位柱，晶圆载台本体的顶部设置有晶圆，晶圆的正下方设置有光学传感器，光学传感器的设置范围应在晶圆的圆周范围内，三个支撑板沿晶圆载台本体的圆心设置，且每个支撑板之间夹角的度数为120°，支撑板的顶面与晶圆载台本体的顶面平齐，支撑板的厚度为晶圆载台本体的厚度的二分之一。该种用于光刻机的晶圆载台，可有效的使晶圆能够平稳的放置在晶圆载台本体的上表面，使晶圆不会产生倾斜，避免晶圆被损坏，造成损失，使晶圆可轻松的从晶圆载台本体上进行拆卸。