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一种光刻机的晶片传送装置

基本信息

申请号 CN202011384580.0 申请日 -
公开（公告）号 CN112614798A 公开（公告）日 2021-04-06
申请公布号 CN112614798A 申请公布日 2021-04-06
分类号 H01L21/677(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 周杰;张琪;符友银;李俊毅 申请（专利权）人 新毅东（上海）科技有限公司
代理机构 合肥律众知识产权代理有限公司 代理人 侯克邦
地址 100043北京市石景山区政达路6号院4号楼12层1212
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种光刻机的晶片传送装置，包括密封外壳和分流密封外壳，密封外壳的左侧与分流密封外壳的右侧连接；密封外壳顶面安装有气泵，气泵右侧设置有输气管，输气管的两端分别与气泵右侧和密封外壳顶面右部连通；密封外壳底面安装有支架，支架底部安装有支撑柱，支撑柱的上下两端分别与支架底部和地面连接；密封外壳右端一侧地面上安置有氮气瓶，氮气瓶顶部与气泵顶部连通；该传送装置加装密封外壳，可有效隔绝空气，防止晶片受潮氧化，氮气瓶和气泵将氮气送入设备内对晶片吹干清理，防止落灰或受潮，分流台表面的小型旋转辊可旋转改变转动朝向，从而改变输送物的流向，可将不同类型的晶片载板分流至相应的作业传送带上，高效便利。