一种光刻机自动对准系统
基本信息
| 申请号 | CN202011388271.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112558436A | 公开（公告）日 | 2021-03-26 |
| 申请公布号 | CN112558436A | 申请公布日 | 2021-03-26 |
| 分类号 | G03F9/00(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 周杰;张琪;符友银;李俊毅 | 申请（专利权）人 | 新毅东（上海）科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥律众知识产权代理有限公司 | 代理人 | 侯克邦 |
| 地址 | 100043北京市石景山区政达路6号院4号楼12层1212 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻机自动对准系统，包括底座、掩磨对准台、对准模块，底座的顶端固定安装有工作台，工作台的顶端中部固定安装有掩磨对准台，掩磨对准台的两侧均通过导管固定连接有固定件，固定件与工作台相互固定，掩磨对准台的顶端固定连接有掩磨板，掩磨板的顶端中部固定设置有加工盘，加工盘的中部固定设置有晶圆槽，晶圆槽的内部固定设置有对准模块，晶圆槽的底端两侧分别倾斜设置有反射镜。该种发明通过电机与螺纹杆之间的转动连接从而带动滑动块进行横向移动，连接支架的的一侧安装有准直透镜，准直透镜的中部设有红外对准器能够与加工盘内部设有的对准模块相互对准，控制板控制电机进行微调，从而更加准确的对准。 |
