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亚表面缺陷的检测装置

基本信息

申请号 CN202110238855.8 申请日 -
公开（公告）号 CN113008796A 公开（公告）日 2021-06-22
申请公布号 CN113008796A 申请公布日 2021-06-22
分类号 G01N21/01;G01N21/95 分类 测量；测试;
发明人 冯胜;翟中生;王选择;谢博娅 申请（专利权）人 赤壁精迈光电科技有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 吴敏
地址 437315 湖北省咸宁市赤壁市中伙铺镇高新区美丽健康产业园33栋
法律状态 -

摘要

摘要 一种亚表面缺陷的检测装置，包括：光源组件，所述光源组件适宜于产生照明光，所述照明光为发散光；所述照明光耦合入待检测件中以形成波导光，所述波导光在所述待检测件中以导波模式传播；成像组件，所述成像组件包括：面阵图像传感器，所述面阵图像传感器适宜于采集被散射的波导光以获得缺陷图像；处理组件，所述处理组件适宜于对所述缺陷图像进行处理。所述检测装置能够实现多角度检测以提高成像效率；而且，成像组件中采用面阵图像传感器获得缺陷图像，配合呈发散光的照明光，能够避免扫描的方式的引用，从而避免机械振动干扰、降低同步控制难度。