显微扫描装置

基本信息

申请号 CN201820524863.2 申请日 -
公开(公告)号 CN207991481U 公开(公告)日 2018-10-19
申请公布号 CN207991481U 申请公布日 2018-10-19
分类号 G01B11/24;G01N21/88 分类 测量;测试;
发明人 杨景中 申请(专利权)人 上海中晶科技有限公司
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 上海中晶科技有限公司
地址 200233 上海市徐汇区上海市桂平路680号35号楼
法律状态 -

摘要

摘要 一种显微扫描装置,包含一撷像机构以及一物件驱动机构。撷像机构包含一分光元件、一感光元件、一成像镜、一显微物镜以及一光源。分光元件具有一第一光路、一第二光路以及一第三光路。光源设置于第三光路上,且光源提供一照明光经由分光元件至物件。其中,照明光沿第三光路以及第二光路到达物件,且影像光沿第二光路以及第一光路到感光元件。物件驱动机构驱动物件移动或转动,以供撷像机构在同轴照明下扫描物件。