一种正性光刻胶用显影液及其应用
基本信息
| 申请号 | CN201710825460.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107357140B | 公开（公告）日 | 2021-05-04 |
| 申请公布号 | CN107357140B | 申请公布日 | 2021-05-04 |
| 分类号 | G03F7/32 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 李森虎;殷福华;徐辉;赵文虎;顾玲燕 | 申请（专利权）人 | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 无锡坚恒专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 杜兴 |
| 地址 | 214400 江苏省无锡市江阴市周庄镇长寿云顾路581号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种正性光刻胶用显影液，主要组分包含碱源、润湿分散剂、金属保护剂、水和显影增强剂，显影增强剂为选自硼酸、C2～C4的羟基酸中的一种或两种的组合，碱源与显影增强剂的摩尔比为1：（0.05～0.2）。本发明正性光刻胶用显影液通过加入显影增强剂，形成碱性的缓冲溶液，调节显影液中氢氧根的初始浓度，随着氢氧根的持续消耗，推动了缓冲溶液物质水合反应的进行生成氢氧根，显影速度适中。本发明还公开了正性光刻胶用显影液的制备方法及应用。 |
