一种配向膜脱膜剂组合物及脱膜工艺

基本信息

申请号 CN201811298244.7 申请日 -
公开(公告)号 CN109439468B 公开(公告)日 2021-05-04
申请公布号 CN109439468B 申请公布日 2021-05-04
分类号 C11D7/04;C11D7/06;C11D7/16;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;C11D7/60;G02F1/1337 分类 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡;由此制取的脂肪酸;洗涤剂;蜡烛;
发明人 徐杨;邵勇;朱龙;陈林;承明忠;周勰;殷福华;赵文虎 申请(专利权)人 江阴江化微电子材料股份有限公司
代理机构 无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 代理人 杜兴
地址 214400 江苏省无锡市江阴市周庄镇长寿云顾路581号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种配向膜脱膜剂组合物,主要组成为碱性组分、非质子极性溶剂、有机醇溶剂和水,碱性组分中包含吗啉和/或具有吗啉环仲胺基团的吗啉衍生物。本发明配向膜脱膜剂组合物中引入了具有仲胺基团的吗啉和/或吗啉衍生物,吗啉分子结构中具有仲胺基团,因此其水溶液具有强碱性,可部分替代或者全部替代碱金属氢氧化物,降低脱膜剂组合物中的碱金属氢氧化物含量,不伤底层ITO及金属层;配向膜脱膜剂组合物中的水含量高,有助于提高配向膜脱膜过程中的的安全系数。本发明还公开了一种配向膜脱膜剂组合物的脱膜工艺。