一种具有活动盖板的湿蚀刻设备及湿蚀刻方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种具有活动盖板的湿蚀刻设备及湿蚀刻方法

基本信息

申请号	CN201910764932.6	申请日	-
公开（公告）号	CN110429053B	公开（公告）日	2021-03-23
申请公布号	CN110429053B	申请公布日	2021-03-23
分类号	H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	顾玲燕;朱龙;任奕宇;李翔;承明忠	申请（专利权）人	江阴江化微电子材料股份有限公司
代理机构	无锡坚恒专利代理事务所（普通合伙）	代理人	杜兴
地址	214400江苏省无锡市江阴市周庄镇长寿云顾路581号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种具有活动盖板的湿蚀刻设备，包括蚀刻箱体，蚀刻箱体的内腔中由下至上依次设置有工件传送组件、喷淋组件，喷淋组件与蚀刻箱体顶面之间设置有活动盖板组件，活动盖板组件包括两平行的输送辊、张紧设置在输送辊外的输送带、位于蚀刻箱体外且与输送辊连接的辊旋转驱动件、阵列分布于输送带上的若干个通孔和位于输送带下方且沿输送带带宽方向设置的扁平状吹风喷嘴，扁平状吹风喷嘴的出风方向与输送带的输送方向夹角为95～120°；输送辊的两端具有高度差，和/或位于输送辊顶端和底端的输送带层之间设置有扁平风刀，扁平风刀的出风口倾斜向下并朝向输送带。通过输送带和扁平状吹风喷嘴，改善滴落和喷射至工件蚀刻面的蚀刻液浓度差导致的蚀刻不均问题。