重锤装置和用于晶棒生长的提拉机构
基本信息
申请号 | CN202120079282.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214193512U | 公开(公告)日 | 2021-09-14 |
申请公布号 | CN214193512U | 申请公布日 | 2021-09-14 |
分类号 | C30B15/30;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 吴世海 | 申请(专利权)人 | 西安奕斯伟设备技术有限公司 |
代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 许静;陈丽宁 |
地址 | 710000 陕西省西安市高新区丈八街办瞪羚路26号西安理工大学科技园E2-002 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种重锤装置,包括重锤本体和位于重锤本体相对的两端的软轴连接结构和籽晶连接结构,软轴连接结构包括第一连接部、连接套、连接钼销和钼销挡套;第一连接部设置于重锤本体的轴向方向上的第一端,并沿重锤本体的轴向方向延伸设置,第一连接部的外周面上设置有沿第一方向延伸并贯穿第一连接部的第一销孔,第一方向为与重锤本体的轴向方向相垂直的方向;沿重锤本体的轴向方向,连接套包括用于容纳软轴的第一部分和供第一连接部插入的第二部分,第二部分设置有与第一销孔相配合以供连接钼销穿过的第二销孔;钼销挡套在连接钼销将第一连接部和连接套连接后,套设于连接钼销的外部。本实用新型还涉及用于晶棒生长的提拉机构。 |
