吸盘装置
基本信息
| 申请号 | CN202120295146.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214830777U | 公开（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申请公布号 | CN214830777U | 申请公布日 | 2021-11-23 |
| 分类号 | C30B15/00（2006.01）I;C30B15/10（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 西安奕斯伟设备技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 许静;张博 |
| 地址 | 710000陕西省西安市高新区丈八街办瞪羚路26号西安理工大学科技园E2-002 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种吸盘装置，用于吊装运输石英坩埚，包括吸盘本体，所述吸盘本体用于通过密封垫与石英坩埚密封连接，所述吸盘本体上设置有进气口和出气口，所述出气口上设置有与真空泵连接的真空阀，以将所述吸盘本体和所述石英坩埚形成的腔体抽真空，还包括位于所述密封垫远离所述吸盘本体的一侧的第一压环，和设置于所述第一压环外围的第二压环，所述第一压环和所述第二压环之间具有供石英坩埚的侧壁插入的第一间隙。 |
