一种检测设备和单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN202110256410.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113049022A | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN113049022A | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | G01D21/00;C30B15/00;C30B29/06;G08C19/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王富龙 | 申请（专利权）人 | 西安奕斯伟设备技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄灿;顾春天 |
| 地址 | 710000 陕西省西安市高新区丈八街办瞪羚路26号西安理工大学科技园E2-002 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种检测设备和单晶炉。检测设备应用于单晶炉，单晶炉包括炉体、密封炉体的密封件以及设置于炉体上的提拉软轴，提拉软轴的材料包括金属材料，提拉软轴与炉体之间密封且绝缘设置，且提拉软轴的一端延伸至炉体内部，另一端位于炉体的外侧；检测设备包括相互连接的执行模块、通信模块和电源模块，通信模块与提拉软轴电连接，且提拉软轴用于为通信模块传输信号。本发明实施例通过利用提拉软轴传输信号，通过有线传输的方式，克服了单晶炉的炉体对于信号的屏蔽，不需要多次开启和关闭单晶炉，此外，也不需要单独设置传输的信号线，不会对单晶炉的密闭效果造成影响，有利于提高测试效率和测试准确程度。 |
