隔离阀盖装置和单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN202110035452.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112877767A | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN112877767A | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | C30B15/00;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 吴世海 | 申请（专利权）人 | 西安奕斯伟设备技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 许静;陈丽宁 |
| 地址 | 710000 陕西省西安市高新区丈八街办瞪羚路26号西安理工大学科技园E2-002 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种隔离阀盖装置，用于隔离单晶炉中的主炉室和副炉室，包括阀盖板和阀板轴，所述阀板轴上设置有第一进水口和第一出水口，所述阀盖板内均匀分布有多个相互连通的环形水槽，所述阀盖板上还设置有通过进水管路与所述第一进水口连通的第二进水口，以及通过出水管路与所述第一出水口连通的第二出水口。本发明还涉及一种单晶炉。 |
