一种石英坩埚自动清洗线

基本信息

申请号 CN202122369396.5 申请日 -
公开(公告)号 CN215656717U 公开(公告)日 2022-01-28
申请公布号 CN215656717U 申请公布日 2022-01-28
分类号 B08B3/02(2006.01)I;B08B3/14(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 陈桂东;刘贵枝;孙双猛 申请(专利权)人 天津必利优科技发展有限公司
代理机构 天津企兴智财知识产权代理有限公司 代理人 石倩倩
地址 300380天津市滨海新区高新区塘沽海洋科技园新北路4668号创新创业园18-A号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种石英坩埚自动清洗线,包括预清洗单元、酸洗单元、高压清洗单元、静置单元、烘烤单元和冷却单元,所述预清洗单元包括预清洗壳体,预清洗壳体内部开设有通道,通道为长方体结构,通道用于传送石英坩埚,预清洗壳体一侧依次连通至酸洗单元、高压清洗单元、静置单元、烘烤单元和冷却单元。本实用新型所述的一种石英坩埚自动清洗线,设计合理,设有多个清洗单元,其预清洗单元满足坩埚传输清洗,坩埚进入预清洗单元,上下喷嘴可以同时对坩埚内外表面进行清洗,主要目的除去内外表面浮砂,保证清洗无死角;而且预清洗单元设有滚筒传输机构,传输平稳位置精度高。